Brooks Instrument entwickelt, fertigt und vertreibt Massendurchflussregler, Massendurchflussmesser, Druckmessgeräte, Vakuummessgeräte sowie Verdampferprodukte für die kontrollierte Überführung von Flüssigmedien in reine Dämpfe. Die wichtigsten Anwendungen sind Wasserverdampfung, Gasphasenabscheidun...
Brooks Instrument entwickelt, fertigt und vertreibt Massendurchflussregler, Massendurchflussmesser, Druckmessgeräte, Vakuummessgeräte sowie Verdampferprodukte für die kontrollierte Überführung von Flüssigmedien in reine Dämpfe. Die wichtigsten Anwendungen sind Wasserverdampfung, Gasphasenabscheidung (CVD), Ausfüllung dünner Schichten (Oberflächeneigenschaften), z.B. in Prozessen der Halbleiterfertigung.
